http://preview.tinyurl.com/ajxctba

"Die Herstellung von Mikrolinsenarrays durch Reflow von Photoresist und anschließendem Transfer über reaktives Ionenätzen (RIE) ist eine etablierte Technologie.

Durch die zusätzliche Kombination mit Polymerabformung kann eine Reihe interessanter zusätzlicher Eigenschaften erzielt werden.

Konkave Mikrolinsen in SiO2 und Si

Reflow-Photoresiststrukturen sind normalerweise konvex. Durch einen zusätzlichen Polymer-Abformschritt kann die Struktur aber invertiert und anschließend mittels RIE in das darunterliegende Silizium- oder Glassubstrat übertragen werden. Ein Beispiel ist die Erzeugung hochpräziser konkaver Spiegelarrays in Silizium."

... in der oben verkürzt verlinkten Fundstelle vom Fraunhofer-Institut wird das so genannt. Ob es auf Deinen konkreten Fall passt, kann ich mangels technischer Hintergrundinformation nicht beurteilen.